İyon implantasyonu ve plazma aşındırma
SIAMC'nin grafit ürünleri, mükemmel ısı direnci, termal iletkenliği, düşük yabancı madde içeriği ve iyon ışınlarının neden olduğu korozyona karşı direnci nedeniyle iyon implantasyonu ve plazma aşındırma ekipmanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır.
İyon implantasyonunda uçuş tüplerinde, çeşitli yarıklarda, elektrotlarda, elektrot kapaklarında, kanallarda ve ışın sonlandırıcılarda yüksek saflıkta grafit kullanılır.Bu bileşenlerin iyon ışınlarının neden olduğu korozyona karşı dayanıklı olması gerekir.
Plazma aşındırmada, plazma reaksiyon odasının bileşenleri, kirlenmeye ve korozyona neden olabilecek aşındırma gazına maruz kalır.Bununla birlikte grafit, iyon bombardımanı veya plazma gibi aşırı çalışma koşulları altında korozyona karşı dirençlidir, bu da onu grafit elektrotlar gibi plazma aşındırma ekipmanı bileşenleri için ideal bir malzeme haline getirir.
SIAMC'nin yüksek kaliteli grafit ürünleri, iyon implantasyonu ve plazma aşındırma ekipmanı için mükemmel performans ve güvenilirlik sağlayarak yarı iletken işlemenin kalitesini ve verimliliğini garanti eder.
