EPI ve MOCVD EPI ve MOCVDSIAMC'ın grafit bileşenleri ve yalıtım malzemeleri, mükemmel termal ve mekanik özelliklerinden dolayı yarı iletken epitaksiyel ekipmanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.Epitaksiyel büyütme proseslerinde ısıtıcı, suseptör gibi sıcak duvarlı reaktör bileşenleri için yüksek saflıkta grafit kullanılır.
daha fazlası