EPI ve MOCVD

SIAMC'nin grafit bileşenleri ve yalıtım malzemeleri, mükemmel termal ve mekanik özelliklerinden dolayı yarı iletken epitaksiyel ekipmanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.Epitaksiyel büyütme proseslerinde ısıtıcı, tutucu, gaz enjektörü ve gaz dağıtım plakası gibi sıcak duvarlı reaktör bileşenleri için yüksek saflıkta grafit kullanılır.SIAMC'nin grafit ürünlerinin düşük yabancı madde içeriği, yüksek işlem saflığı sağlar ve yüksek sıcaklıkta işleme sırasında parçacık oluşumunu azaltır.

Ayrıca SIAMC'nin yalıtım malzemeleri, epitaksiyel ekipmanlarda yüksek proses sıcaklığını korumak ve ısı kaybını azaltmak için yalıtım ve ısı koruması amacıyla kullanılır.Bu malzemeler, ekipmanın istikrarlı ve verimli çalışmasını sağlayan mükemmel ısı yalıtım özelliklerine ve yüksek sıcaklık direncine sahiptir.

Genel olarak, SIAMC'nin grafit bileşenleri ve yalıtım malzemeleri, epitaksiyel büyüme süreçlerinin kalitesini ve verimini sağlamada kritik bir rol oynuyor ve bu da onları yarı iletken üretimi için vazgeçilmez kılıyor.